光学轮廓仪设备如何设置参数【图解】
如下为光学轮廓仪能测参数：
1. 系统配置及功能
1.1 PSI(相位移测试模式）
1.2 VSI(垂直方向扫描测试模式)
2. 不同放大倍率物镜：2.5X、10X、50X
3. 气浮防震平台，一体化设计，保证最好的测试条件
4. 200mm 全自动样品台，可程序化控制，样品可容纳大于300mm
5. 可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
6. 可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台，通过软件全自动更换物镜
7. 双ＬＥＤ光源，分别有白光和绿光光源，此设计能够避免使用绿光光源时，使用滤镜的方式产生系统误差．
8. 全自动调整干涉条纹
9. 大面积缝合功能软件
10. 噪音：RMS < 0.3 Å (垂直方向)，框架式结构
11. Z方向测试范围0.1nm 到10mm
12. Z方向分辨率0.01nm Ra，RMS重现性0.004nmss
13. 样品反光率<1 to 100%
14. 垂直方向扫描速度 92.5微米/秒
15. 倾斜调制范围，±6°（Tip/Tilt in the Head光学测量头整体调节）
16. 闭环控制扫描：0.1nm 到10mm 全范围实现闭环扫描，而非压电陶瓷垂直方向拼接方式，能够保证扫描的全范围精度．
17. 自校准功能: 提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性，此设计能够使得在测量过程中，具有可溯源装置，保证每个量程的精度，而非在某个量程的校准方式．
18. 提供具备证书的标准样品：PSI 模式光滑平面 （SIC）
扩展资料：
适用范围：
本系列仪器广泛应用于机械加工、电机、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光学元件等行业。适用于科研院所、大专院校、计量机构和企业计量室、车间。可测轴承、滚针、滚子、电机轴、曲轴、圆柱销、活塞销、活塞、气门、阀门、齿轮、油泵油嘴、液压件、气动件、纺机配件等。
主要优点：
传感器的触针由金刚石制成，针尖圆弧半径为2微米，在触针的后端镶有导块，形成一条相对于工件表面宏观起伏的测量的基准，使触针的位移仅相对于传感器壳体上下运动，所以导块能起到消除宏观几何形状误差和减小纹波度对表面粗糙度测量结果的影响。传感器以铰链形式和驱动箱连接，能自由下落，从而保证导块始终与被测表面接触。
