三坐标测量机误差补偿方法
三坐标测量机误差补偿方法
三坐标测量机的精度提高可通过使用固定补偿模型或自适应补偿模型,或将两者结合起来完成。固定补偿模型取决于坐标测量机误差的检测结果及所建立的校正表。例如, 使用激光干涉仪标定的光栅尺校正值表, 可用于坐标测量机光栅尺的线性度补偿。
有研究表明，用三坐标测量机进行测量时，需要对测头半径进行补偿。在对现有的测头半径补偿方法进行分析的基础上，提出一种“四点共球法”，可以实现对测头半径的补偿。测量时还能使用自适应补偿模型，这种方法用于正坐标测量机随机发生的几何构成上的变化。提高坐标测量机精度的成本取决于测量机的重复而不是几何精度。通过精度提高一般可使几何误差减少80%~ 90% 。
第三种方法是对测量机光栅尺及工件都进行了校正，校正后, 由热膨胀引起的误差可减少80%以上。温度测量的不确定性及热膨胀系数的变化留下10% ~ 20% 的残差得不到校正。但当温度迅速变化时, 由于情况变得复杂, 线性温度补偿不能很好地起作用。
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